M1相二氧化钒VO2单晶薄膜

钒氧化物外延单晶薄膜

钒氧化物是一种 较 其复杂的金属氧化物，且具有丰富的相结构，每一种相都有其独特的用途，如 VO2 高温 R 相到低温 M 相之间发生结构转变同时伴随着 4-5 量级的电阻率变化，高温下的 VO2 薄膜对红外光具有 较 好的截至性能，因而在光电器件、节能窗、低功耗场效应管等具有潜在的应用前景； VO2 存在的 B 相是其钒氧化物众多的亚稳相之一， VO2(B) 的层状结构以及纳米量级下具有可靠的性质而越发引起关注，例如 VO2(B) 相纳米线或纳米针用于阴 较 的 Li 电池中，同时 VO2(B) 具有高温度的电阻系数可用于辐射热计中的红外吸收层。然而，在透明且廉价的衬底上制备薄膜形式的钒氧化物一直是个挑战，6686体育appios利用反应离子溅射在 (0006) 取向的蓝宝石衬底上成功制备出 V2O3 ， VO2(M1) ， VO2(B) 等高质量的外延单晶薄膜。

: VOx 外延薄膜（厚度可定制）

制备方法 : 反应离子

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供应产品目录：

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小编： wyf  08.04